12月13日，中國有色金屬學會揭曉2023年度“中國有色金屬十大進展”獲獎名單，中國有研所屬有研工研院“電子級超高純金屬提純用大功率電子束熔煉裝備開發(fā)及其應用”項目成功入選。

“電子級超高純金屬提純用大功率電子束熔煉裝備開發(fā)及其應用”項目聚焦我國集成電路材料關鍵裝備的“卡脖子”問題，開發(fā)出國內首套滿足先進集成電路超高純金屬需求的電子束熔煉裝備，在大功率高效穩(wěn)定熱陰極電子槍、多槍大功率電子束能量控制、高質量大規(guī)格鑄錠電子束熔煉裝備集成設計等核心技術領域取得突破，獲得授權專利40余項，具有完全自主知識產權。

該裝備達到國內領先、國際先進水平，并在國內主要超高純金屬原材料生產單位投入使用，標志著高端電子束熔煉裝備實現全面國產化。應用該設備生產的超高純鉭、銅等材料已在先進集成電路領域獲得批量應用，保障了我國集成電路產業(yè)關鍵原材料自主可控。

此次項目入選“中國有色金屬十大進展”，體現了行業(yè)對有研工研院科技創(chuàng)新實力與成果的認可，彰顯了有研工研院對推動行業(yè)共性技術提升、保障國家關鍵產業(yè)鏈安全的重要作用。有研工研院將繼續(xù)秉承“創(chuàng)業(yè)求實、創(chuàng)新致遠”的核心價值觀，扎實做好科技創(chuàng)新與產業(yè)培育，為發(fā)展新質生產力，推動高質量發(fā)展繼續(xù)貢獻更大的力量。